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FFKM IP28
FFKM IP28 제품은 특별히 플라즈마 공정에서 뛰어난 성능을 나타내기 위하여 특별한 Filler를 적용한 제품입니다. 이 제품은 산소 및 불소 플라즈마에서 최소의 파티클과 낮은 중량의 감소가 장점이며, 우수한 신축성과 압력에 의한 씰 수명 연장의 특성 등의 좋은 기계적 물성으로 동적 및 정적 씰 모두에 적합합니다. 내열성으로 최고 적용 온도는 300°C까지 추천드립니다
기능 및 이점
낮은 아웃 가스 / 안정적인 내열성 / 장시간 압력에 의한 씰 보존성 / 우수한 탄성력
적용분야
Chamber lip seals / Gas inlet seals / Window seals / Slit valve seal / Bell jar seals /
High temperature valve seals
Typical Physical properties
플라즈마 환경
화학반응 환경
Crystal O-ring