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FFKM 1077
FKM 1077 제품은 불소 탄성체에 오염 발생을 최소화하는 NANO PTFE 입자를 중합하는 특별한 기술을 적용하여 고 순도를 요구하는 반도체나 FPD 산업을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 NANO PTFE 필러의 적용으로 습식 공정에서 금속과 유기성 물질의 적출을 최소화하고 건식 공정에서 파티클 발생을 크게 억제시키며, 내화학성이 매우 뛰어나고 강한 기계적 물성을 나타내며 동적, 정적 씰 분야에 모두 적절하게 쓰입니다. 내열성의 경우 안정적 사용 온도는 200°C까지 추천드립니다
적용분야
초 고순도 및 낮은 금속 이온 함유 / 표면의 낮은 부식으로 오염의 최소화 / 우수한 기계적 물성 / 낮은 아웃 가스 / 비 점착성으로 낮은 마찰계수
기능 및 이점
Bonded Slit valve seals / Bonded Gate valve seals / Chamber lip seals / Gas inlet seals / Isolation valve seals
Typical Physical properties
플라즈마 환경
화학반응 환경
Crystal O-ring