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FFKM 3075

FFKM 3075 뛰어난 내화학성으로 다양한 화학 공정 분야에 적용되며 낮은 컴프레션 셋으로 씰 보존력이 향상되도록 기계적 물성을 강화한 과불화탄성체 입니다. 이 제품은 산, 알카리류, 케톤류 그리고 에스터류, 알콜류, 뜨거운 물 등의 다양한 화학 물질에 대한 우수한 저항성을 나타내지만, 뜨거운 아민류에는 사용을 제한합니다. 이 제품의 최고 사용 온도는 260°C 정도이나 선택된 유체의 온도는 별도로 고려하여야 합니다.

기능 및 이점

낮은 오염성 / 우수한 내프라즈마성 / 내화학성 / 우수한 기계적 강도 / 낮은 컴프레션 셋 
적용분야

Chamber lip seals / Bonded slit valve door seals / Bonded Gate valve door seals / Gas inlet seals / Slit Valve seals / Chemical Pump seals
Typical Physical properties 


Gas Permeation Rate 

ISO7 Clean room 시스템에서 생산된 FFKM 9671 #214 O-Ring의 양이온 추출은 몇가지 선택된 반도체 용액으로 실시하여, High resolution ICP-MS로 측정하였습니다. 모든 테스트는 2번 시행하였고, 수치는 평균치입니다.


Volume Swell, % 

씰의 많은 적용분야에서 낮은 부피 팽창은 장비 동작 에 매우 중요한 역할을 합니다. FFKM 3075는 향상 된 내화학성을 제공함으로써 씰의 연속성을 향상시킵 니다. 부피팽창은 내화학성의 지침입니다.

FLUID RESISTANCE OVERVIEW
플라즈마 환경
화학반응 환경
Crystal O-ring